Ausrüstung für die Ablagerung von Halbleitermaterial mit CVD-Ofen

Einzelheiten zum Produkt

Markenname: Jingtan

Zertifizierung: CE

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Preis: USD12,000-100,000/SET

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Versorgungsmaterial-Fähigkeit: 30-teilig/Stücke pro Viertel

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Spezifikationen

Beschreibung

Spezifikationen

Hervorheben: 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              Absetzgeräte für Halbleitermaterialien, CVD-Ofen für Halbleitermaterialien
                                                  

Herkunftsort:	Hunan, China	Typ:	Induktionsofen
Gebrauch:	Absetzöfen	Video-Ausgangsinspektion:	Bereitgestellt
Maschinenprüfbericht:	Bereitgestellt	Kernkomponenten:	PLC
brand name:	Jingtan	Spannung:	380
Gewicht (T):	2 T	Leistung (kW):	220
Wichtige Verkaufspunkte:	Wettbewerbsfähiger Preis	Konstruktionstemperatur (°C):	1250 bis 2200
Besorgniserregende Temperatur:	900 bis 1200°C	Druckanstieg (Pa/h):	0.67Pa/h ((150Pa/24h)
Aufheizungsmethode:	Widerstand/Induktion	Arbeitsatmosphäre:	Vakuum/CH4/C3H6/H2/N2/Ar
Ofenart:	Quadratisch/rund vertikal/horizontal	Kühlmodus des Ofen:	Wasserkühlung in der Ofenhülle
Infrarotgerät:	Ein-/Doppelfarbmessung	Temperaturgleichheit:	± 5
Grenzvakuum Grad ((Pa):	1-100	Art der Vermarktung:	Gewöhnliche Ware
Gewährleistung für Kernkomponenten:	1 Jahr	Anwendbare Branchen:	andere, Halbleiter

Herkunftsort:	Hunan, China
Typ:	Induktionsofen
Gebrauch:	Absetzöfen
Video-Ausgangsinspektion:	Bereitgestellt
Maschinenprüfbericht:	Bereitgestellt
Kernkomponenten:	PLC
brand name:	Jingtan
Spannung:	380
Gewicht (T):	2 T
Leistung (kW):	220
Wichtige Verkaufspunkte:	Wettbewerbsfähiger Preis
Konstruktionstemperatur (°C):	1250 bis 2200
Besorgniserregende Temperatur:	900 bis 1200°C
Druckanstieg (Pa/h):	0.67Pa/h ((150Pa/24h)
Aufheizungsmethode:	Widerstand/Induktion
Arbeitsatmosphäre:	Vakuum/CH4/C3H6/H2/N2/Ar
Ofenart:	Quadratisch/rund vertikal/horizontal
Kühlmodus des Ofen:	Wasserkühlung in der Ofenhülle
Infrarotgerät:	Ein-/Doppelfarbmessung
Temperaturgleichheit:	± 5
Grenzvakuum Grad ((Pa):	1-100
Art der Vermarktung:	Gewöhnliche Ware
Gewährleistung für Kernkomponenten:	1 Jahr
Anwendbare Branchen:	andere, Halbleiter

Beschreibung

Ausrüstung für die Ablagerung von Halbleitermaterial mit CVD-Ofen

Spezifikation:

Vakuum-Ablagerungsöfen:

Hauptsächlich für die Herstellung von Kohlenstoff-Kohlenstoff-Verbundwerkstoffen verwendet, und der Ablagerungsöfen wird hauptsächlich für die Herstellung einer pyrolytischen Kohlenstoffbeschichtung auf der Graphitoberfläche verwendet,Halbleitergeräte und hitzebeständige Spülmaterialien.

Parameter/Modellnummer	JT-0305-C	JT-0505-C	JT-0608-C	JT-0608-C	JT-0812-C	JT-1120-C	JT-1218-C	JT-1520-C
Größe der Arbeitszone φ×H(mm)	300 × 500	500 × 500	600 × 800	600 × 1200	800 × 1200	1100 × 2000	1200 × 1800	1500 × 2000
Höchste Temperatur (°C)	2300	2300	2300	2300	2300	2300	2300	2300
Temperaturgleichheit ((°C)	± 5	± 5	± 5/± 7.5	Der Wert der Verbrennungsmenge ist zu messen.	Der Wert der Verbrennungsmenge ist zu messen.	Der Wert der Verbrennungsmenge ist zu messen.	Der Wert der Verbrennungsmenge ist zu messen.	±15 ±20
Grenzvakuumgrad ((Pa)	1 bis 100	1 bis 100	1 bis 100	1 bis 100	1 bis 100	1 bis 100	1 bis 100	1 bis 100
Grenzvakuumgrad ((Pa)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Aufheizungsmethode	Widerstand/Induktion	Widerstand/Induktion	Widerstand/Induktion	Widerstand/Induktion	Widerstand/Induktion	Widerstand/Induktion	Widerstand/Induktion	Widerstand/Induktion

Konstruktionstemperatur	1250°C/1650°C/1800°C/2200°C
Durchschnittliche Temperatur	900 bis 1200°C
Vakuumgrad	< 50 Pa
Druckanstieg	6.67pA/h (oder 150Pa/24h) im kalten Zustand des leeren Ofen
Aufwärmmodus	Graphitwiderstandsheizung oder Induktionsheizung, unabhängige Temperaturregelung, gute Temperaturgleichheit
Atmosphäre	Vakuum /CH4/C3H6/H2/N2/Ar

Gassteuerungsmodus	Massendurchflussmesserregelung, mehrkanaler Gasweg, einheitliches Durchflussfeld, kein Ablagerungs-Todwinkel, guter Ablagerungseffekt;Mehrstufiges und effizientes Abgasreinigungssystem, umweltfreundlich,leicht zu reinigen
Ofenart	Quadratische, runde, vertikale oder horizontale Struktur (nicht standardmäßige Konstruktion), vollständig geschlossene Ablagerungskammer, gute Dichtungseffekt, starke Verschmutzungsbekämpfungsfähigkeit;
Kühlmodus des Ofen	Wasserkühlung aus der Ofenhülle, kann ein externes Umlaufschnellkühlsystem ausgewählt werden, kurze Kühlzeit, hohe Produktion Effizienz;

Strukturform	Horizontale - seitliche Entladung, vertikale - aufwärts/unterwärts
Verriegelungsmodus	manuell/automatisch
Schalenmaterial	Innere Edelstahl/ganz Edelstahl
Isoliermaterial	Kohlenstofffilz/Graphitfilz/Kohlenstofffasergehärtetes Filz
Infrarotgerät	Einfach-/Doppel-Farbmessung
Stromversorgung	KGPS/IGBT ((nur für mittlere Frequenzheizung geeignet) Produktparameter: